性能指标:
1、离子枪两只潘宁式离子枪,装载环形永磁铁,聚焦离子束设计。离子枪无消耗品
2、离子枪束能量:0.1keVm6keV
3、离子枪角度:可调,+10到-10,每只离子枪可独立调节
4、离子枪消耗:无消耗
5、抛光速率:硅,每小时>140m,6kV
6、抛光区域:0.5-1.5mm,通过离子束可调节
7、样品台:T遮挡板,配合Sample Stub可直接转至SEM中观察,从而可以重复抛光原感兴趣区域
8、离子束调制:双束调制系统
9、样品更换:Whisperloki设计,样品更换时间<30s无需破样品室真空
10、无油真空系统:无油机械泵+分子泵系统、保持样品室高真空,防止污染
设备用途:
经过氩离子抛光后的岩石或微孔隙样品具有光滑的截面,而不会出现机械研造成的样品机械损,从而可以用来观若石或微孔腺样品的储层结构、定量统计储层孔隙,确定孔隙度等。